第287节

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最终只见刘星率先按耐不住，投过视线主动向徐昀询问起来。

“那个徐教授，这份方案我们可以看吗？”

徐昀自然没有忘记他们这些研究员助理，既然都属于项目组成员肯定有知情权。

再说大家一起努力才能加快进度。

本来他是打算会议结束后在让各研究员去说，既然都那么期待提前也没关系。

念头停留在这里徐昀并没有迟疑什么，当即拿起自己面前的方案递了过去：“你们现在想看那就看吧。”

“谢谢徐教授。”

刘星并没有在这种时候选择推辞，闻言连忙走上前接过文件和身边人分享。

能进入到光学技术研究所博士后流动站，刘星等人可不见得有多么差劲，和杨靖等研究员相比无非是经验和资历上的差距。

对于文件中的内容自然会有自己的判断，知道是否具备实验价值。

可能是找到光源研究方向心情比较高兴缘故，罗长辉杨靖等研究员并没有表现出不耐烦，而是耐心等待刘星和其他博士后大致看完文件。

不知过去多久，刘星率先回过神来，把文件递给身旁的人后立刻看向徐昀。

目光中满是敬佩和激动。

“徐教授您太厉害了，没想到那么快就有了氟化氙光源的制作方法。”

话音刚落，其余人也不甘示弱纷纷开口。

“没想到还可以用这种方法来解决氟化氙光源的制造难度问题，我以前竟然没有任何这方面的想法。”

“有了这份方案，我们是不是很快就能制造出稳定的光源。”

“我已经迫不及待想参与实验了。”

而这时没等徐昀开口回答，坐在旁边的罗长辉主动出声讲道：“现在可还不是我们值得庆祝的时候，起码要得到详细的氟化氙测试结果才行，接下来大家先暂时停止手上的事情，全力制造氟化氙光源装置。”能看出他整个人的激情已经被调动出来。

罗长辉所说的事情正是徐昀接下来的安排，因此便顺着补充了句。

“那么今天的会议就到这里，接下来的时间我想大家应该要有的忙了。”

说完会议也正式结束。

今天把项目成员都喊过来参加会议，主要是商议氟化氙光源制造方案的事，眼下方案已经集体通过，那自然没必要继续浪费时间。

何况相信大家经过刚才的事情后，都已经迫不及待想动手了。

毕竟自己能参与到国产首台极紫外光刻机诞生可是件充满荣耀的事。

当然实际情况也正是如此。

会议结束后在徐昀的带领下，大家都被安排任务。

立刻着手氟化氙光源的制造。

……

和从零开始制造氟化氙不同，前者需要不断试错承担功率较小或者无法长时间保持稳定输出的结果，这个过程除了需要大量投入外，还非常浪费时间并且最终得不到任何结果都正常。

但徐昀他们完全不同。

有那份设计方案作为依靠，这就相当于开卷考试。

他们进行的过程就是把答案抄在试卷上，基本不需要费太多精力。

加上还有徐昀亲自参与，几乎是在六月底的时候研究所成功制造出一个氟化氙光源装置。

并且为确定是否能用于高端光刻机，当天便对光源的波长功率稳定性等进行了测试。

“虽然我觉得这次我们肯定能成功，但不知怎么心里还是有些紧张。”

2020年6月22日，锦城，光电技术研究所极紫外光刻机项目。

光源测试实验室外面，穿着白色研究服的杨靖来回迈着步伐显得有些不安，尽管表面上故作镇定，但脸上隐藏不了的小表情还是把真实感受暴露。

这段时间在参与了光源的制造后，他更加坚信徐昀方案的可行性。

认为极紫外光刻机的光源问题已经解决。

可眼看最终的光源测试结果就要出来，心里多少还是有些忐忑。

相比坐不住的杨靖，罗长辉明显镇定许多，坐在旁边椅子上还不忘打开杯子喝茶。

“把心态放平和，既然选择了相信徐教授，那就耐心等待结果。”

“我这不是害怕嘛。”杨靖听到罗长辉这话有些不好意思。

好歹他也是半截身子入土的研究员教授，遇到事情表现的还不如那些博士后，确实多少有些不太妥当。

不过话是那样说，但试问又有几个能真正做到波澜不惊。

俗话说见过了光明便再难接受黑暗，徐昀的光源方案让他们看到了希望，属于国产极紫外光刻机终于能交付使用的希望。

若最终测试出的结果无法达到要求，那么这些天的努力都将白费。

尽管科学研究本就不应惧怕失败，但对于项目成员肯定是个不小的打击。

杨靖没有再回应罗长辉的话，而是把目光投向了同样面色平静的徐昀，稍作迟疑还是嘴唇轻启询问了句。

“徐教授。”

“你说这次我们能成功吗？”

“当然会成功。”徐昀闻言迎上对方的眼神非常坚定的回答。

好歹这也是他耗费150积分推导出的方案，自然有着百分百的把握。

可以说出现特殊状况的概率基本不存在。

正因如此他才全程保持着平静，压根没有担心。

甚至要不是杨靖主动询问，他甚至都不打算多说一句话。

但该说不说杨靖听到徐昀这话镇定不少，显然是出于对徐昀的信任选择相信光源的测试结果。

就这样大概又过去十多分钟的时间，只见穿着研究服的刘星终于从里面走出来，手中还拿着份氟化氙光源的测试数据报告。

几乎是瞬间大家的注意力便集中在了刘星身上，连罗长辉也猛地站起身来。

而对此刘星却像是没注意到其他人似的，径直走到徐昀跟前把报告递过去的同时开口汇报。

“徐教授。”

“我们的氟化氙光源测试成功了。”

“这是详细数据。”

尽管徐昀早就清楚会是这个结果，听到这句话还是突然加快了手上动作，迅速查看起上面的详细数据。

首先氟化氙光源的波长为135纳米，满足极紫外光刻机的要求。

光源工作功率成功达到250瓦，且非常稳定。

也就是说他们制造的氟化氙光源完全能够使用在极紫外光刻机上，距离首台国产高端光刻机的正式交付使用又往前迈了一大步。

“你们也都看看吧。”

徐昀确定这个结果，又把手中的报告分别递给杨靖罗长辉等人。

后者几人脸上都浮现出激动神情。

“我们真的成功了，这是货真价实的极紫外光源。”

“这些天加班熬夜付出的辛苦都是值得的，海外那些傲慢的家伙肯定不会想到我们的研发会这么顺利。”

“全靠徐教授我们才能做到今天这步。”

正在大家都沉浸在这份喜悦中时，丝毫没有隐藏自己脸上激动神情的刘星，突然当着众人的面提出了一个自己的建议。

“徐教授。”

“我们要不要立刻宣布这个好消息，让海外那些人看看我们究竟能不能制造出极紫外高端光刻机。”

这句话也得到了杨靖的同意，同样附和道：“让大家知道